客服電話:021-5835-7237 173-2132-1081 180-1647-9018
【應(yīng)用領(lǐng)域】
SDG型系列高純水電導(dǎo)率儀,用于測量高純水電導(dǎo)率,其測量純水可以達(dá)到nS/cm級,測量精確、準(zhǔn)確、穩(wěn)定。
高純水主要應(yīng)用于電子和微電子工業(yè)上,也用于食品、造紙、醫(yī)藥等行業(yè)。半導(dǎo)體器件由單電路到集成電路到超高集成電路,其用水的水質(zhì)要求就越來越高。在半導(dǎo)體切片和研磨過程中,須用高純水進(jìn)行清洗。
【品質(zhì)】
VIOLET®智創(chuàng),更強(qiáng)、更好、更精彩!
最大允許誤差:±0.1%FS
保障高精度測量;
測量電導(dǎo)率,可實時切換電阻率;
支持功能拓展、擴(kuò)展;
自動溫度補(bǔ)償(可以選擇手動補(bǔ)償)。
【功能、特點】
六鍵操作、光標(biāo)引導(dǎo);
支持N點標(biāo)定(N=1~8),支持標(biāo)定設(shè)為理論值;
VIOLET®智創(chuàng),饜足一支電極全量程范圍應(yīng)用;
測量響應(yīng)靈敏,平衡后“精、準(zhǔn)、快”即時顯現(xiàn);
數(shù)據(jù)采集、存儲符合GLP規(guī)范。庫存數(shù)據(jù)可查詢、轉(zhuǎn)移、刪除(單組)、清零(全部),數(shù)據(jù)庫可無限保存采集數(shù)據(jù)(SD卡轉(zhuǎn)移輸出);
自動溫度補(bǔ)償(可以選擇手動補(bǔ)償);
顯示屏背光可調(diào);
操作菜單可選中文、英文。
上海大普SDG001高純水電導(dǎo)率儀技術(shù)參數(shù)
儀器引用誤差級別:0.1級
測量參數(shù):電導(dǎo)率、電阻率、溫度
測量范圍:電導(dǎo)率:0.00μS/cm~50.00S/cm;電阻率:20.00KΩ·cm~1.000GΩ·cm;溫度:(-5.0~105.0)℃
分辨率:電導(dǎo)率:0.01nS/cm、0.001μS/cm;電阻率:0.001(KΩ·cm、MΩ·cm);溫度:0.1℃
最大允許誤差:電導(dǎo)率:±0.1%FS;電阻率:±0.2%FS;溫度:±0.2℃
重復(fù)性:≤0.1%FS
電源:電源適配器(輸入AC:220V,50/60Hz;輸出DC:12V,50mA)
尺寸(mm):165×205×60
重量(g):350
【高純水電導(dǎo)率】
一般稱電導(dǎo)率小于0.1μS/cm的純水為高純水。在工藝條件下制備的高純水,雜質(zhì)近乎為零。高純水電導(dǎo)率(或電阻率)是水質(zhì)要求關(guān)健指標(biāo)。
高純水制備的典型工藝流程如下:源水→過濾→活性炭過濾器(或有機(jī)大孔樹脂吸附器)→反滲透器(或電滲析器)→陽離子交換柱→陰離子交換柱→ 混合離子交換柱→有機(jī)物吸附柱→紫外燈殺菌器→精密過濾器→高純水。
制定高純水標(biāo)準(zhǔn)主要依據(jù):(1).微電子工藝對水質(zhì)的要求;(2).制水工藝的發(fā)展水平;(3).水中雜質(zhì)監(jiān)測技術(shù)的現(xiàn)狀等。目前,在1 G(及以上)位超大規(guī)模集成電路制造中,對高純水的技術(shù)要求很嚴(yán)。
電極常數(shù)標(biāo)定:用標(biāo)準(zhǔn)純水(已知電導(dǎo)率值)作為標(biāo)定溶液,標(biāo)定電極常數(shù)。標(biāo)定前用高純水把電極清洗干凈,并用慮紙吸干水分,再用標(biāo)定純水適量沖洗。
十分感謝高純水領(lǐng)域的工程師們在測量應(yīng)用工藝方面的經(jīng)驗、探索和創(chuàng)新。