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【應用領域】
SDG型系列高純水電導率儀,用于測量高純水電導率,其測量純水可以達到nS/cm級,測量精確、準確、穩(wěn)定。
高純水主要應用于電子和微電子工業(yè)上,也用于食品、造紙、醫(yī)藥等行業(yè)。半導體器件由單電路到集成電路到超高集成電路,其用水的水質要求就越來越高。在半導體切片和研磨過程中,須用高純水進行清洗。
【品質】
VIOLET®智創(chuàng),更強、更好、更精彩!
最大允許誤差:±0.2%FS
保障高精度測量;
測量電導率,可實時切換電阻率;
支持功能拓展、擴展;
自動溫度補償(可以選擇手動補償)。
【功能、特點】
六鍵操作、光標引導;
支持N點標定(N=1~8),支持標定設為理論值;
VIOLET®智創(chuàng),饜足一支電極全量程范圍應用;
測量響應靈敏,平衡后“精、準、快”即時顯現(xiàn);
數據采集、存儲符合GLP規(guī)范。庫存數據可查詢、轉移、刪除(單組)、清零(全部),數據庫可無限保存采集數據(SD卡轉移輸出);
自動溫度補償(可以選擇手動補償);
顯示屏背光可調;
操作菜單可選中文、英文。
上海大普SDG002高純水電導率儀技術參數
儀器引用誤差級別:0.2級
測量參數:電導率、電阻率、溫度
測量范圍:電導率:0.00μS/cm~50.00S/cm;電阻率:20.00KΩ·cm~1.000GΩ·cm;溫度:(-5.0~105.0)℃
分辨率:電導率:0.01nS/cm、0.001μS/cm;電阻率:0.001(KΩ·cm、MΩ·cm);溫度:0.1℃
最大允許誤差:電導率:±0.2%FS;電阻率:±0.5%FS;溫度:±0.2℃
重復性:≤0.2%FS
電源:電源適配器(輸入AC:220V,50/60Hz;輸出DC:12V,50mA)
尺寸(mm):165×205×60
重量(g):350
【高純水電導率】
一般稱電導率小于0.1μS/cm的純水為高純水。在工藝條件下制備的高純水,雜質近乎為零。高純水電導率(或電阻率)是水質要求關健指標。
高純水制備的典型工藝流程如下:源水→過濾→活性炭過濾器(或有機大孔樹脂吸附器)→反滲透器(或電滲析器)→陽離子交換柱→陰離子交換柱→ 混合離子交換柱→有機物吸附柱→紫外燈殺菌器→精密過濾器→高純水。
制定高純水標準主要依據:(1).微電子工藝對水質的要求;(2).制水工藝的發(fā)展水平;(3).水中雜質監(jiān)測技術的現(xiàn)狀等。目前,在1 G(及以上)位超大規(guī)模集成電路制造中,對高純水的技術要求很嚴。
電極常數標定:用標準純水(已知電導率值)作為標定溶液,標定電極常數。標定前用高純水把電極清洗干凈,并用慮紙吸干水分,再用標定純水適量沖洗。
十分感謝高純水領域的工程師們在測量應用工藝方面的經驗、探索和創(chuàng)新。