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產(chǎn)品介紹：
GSL-1100X-SPC12H是一款緊湊型加熱等離子薄膜濺射儀，專門設(shè)計(jì)為基地鍍上金屬膜，如金，鉑，銦和銀等。最大可放置樣品尺寸直徑為40mm，膜厚可達(dá)300埃，特別適用于為SEM樣品鍍上金而作為導(dǎo)電極。此款等離子薄膜濺射儀上自帶了所必要的配件，可立即使用，包含一個(gè)濺射靶材，真空泵，不銹鋼波紋管和快速卸裝卡箍。
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輸入電源 |
208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W |
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樣品室 |
石英腔體尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H 帶有不銹鋼法蘭
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襯底加熱器 |
載樣臺的尺寸為60 mm,可加熱到600度 一個(gè)30段可編程溫度控制器，控溫精度±1oC 推薦升溫速率:15°C/m 樣品臺的高度可以調(diào)節(jié)
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真空配置
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每個(gè)配件包含在內(nèi)，可立即使用 儀器中配有一臺2L/S雙旋片機(jī)械泵，出氣口安裝有立式油污過濾器，過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，和減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康。 高純度金箔靶
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| 進(jìn)氣口 |
有一不銹鋼針閥安裝在儀器上，可以通入氬氣，能實(shí)現(xiàn)更好的等離子涂層 |
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靶材 |
靶材標(biāo)配 靶材包含：4N purity Gold foil: 57 mm dia. x 0.12 mm 可選靶材 |
| 外形尺寸 |
L480mmx W320mm x H150mm |
| 凈重 | 20 kg |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
樣品臺 
溫控盒后視圖
