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產(chǎn)品介紹:
GSL-1800X-SBC2是為掃描電鏡和電子揉針等進行試驗制備的設(shè)備,可進行真空蒸碳、真空鍍膜和離子濺射,它也可以在高純氫氣保護下進行等離子處理。對于實驗室此款設(shè)備是極好的鍍膜設(shè)備。
輸入電源 |
208 - 240VAC , 10A , 50/60 Hz, 單相 |
功率 |
< 2000W (包括真空泵) |
輸出電壓 |
(DC)AC10V 最大電流 100A (對于真空鍍膜) DC 3KV, 10mA (對于等離子濺射) |
真空腔體
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有一玻璃鐘罩:250mm dia. x 340mm (2)玻璃處理室:玻璃罩 A:內(nèi)徑88mm×高度140mm(用于真空鍍膜) 玻璃罩 B:內(nèi)徑88mm×高度57mm(用于等離子濺射) |
鍍膜裝置
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對于制膜,儀器可設(shè)置三種模式: (1)一種模式專門針對于蒸發(fā)鍍膜(下方左圖)此儀器可以同時蒸鍍兩種材料,其最高溫度可以達到1800℃采用鎢絲進行加熱(2)蒸碳鍍膜模式(下方中圖) 儀器中包括有兩組碳棒 (3)直流等離子濺射模式(下方右圖)儀器中包含有一金靶(38mm Dia x 0.2 mm t)可在本公司選購其他材質(zhì)靶材
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樣品臺 |
樣品臺可以自動轉(zhuǎn)動(見左圖) 樣品臺尺寸:40mm 儀器上安裝有一電動快門用于控制蒸鍍的開始與停止(見右圖)
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真空泵 |
儀器下端安裝有一機械泵和分子泵 抽速:600L/S 真空度: 10-6 torr 設(shè)備工作環(huán)境溫度:< 32°C |
控制面板 |
在控制面板上可以選擇鍍膜模式,調(diào)節(jié)濺射電流和蒸發(fā)功率
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外型尺寸 |
L800mm× W560mm× H1340mm |
凈重 | 150 kg |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終身維護 |