產(chǎn)品介紹：

GSL-4Z是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時可以實(shí)時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

控制面板：

各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上        可通過觸摸屏設(shè)定每個通道的氣體流量，實(shí)時查看各通道的流量曲線和設(shè)定數(shù)據(jù)

技術(shù)參數(shù)：

質(zhì)子流量控制器：

流量范圍：一路：1—99SCCM 二路：1—199SCCM三路：1—199SCCM  四路：1—499SCCM

其他量程可以選定 ，標(biāo)準(zhǔn)的均以N2標(biāo)定（通入其他氣體時可以根據(jù)說明書中列出的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)，算出所要設(shè)定的氣體流量）。

工作溫度：5—45℃

準(zhǔn)確度：±1.5%F.S.

線性：±（0.5-1.5）%F.S.

重復(fù)精度：±0.2%F.S.

機(jī)械壓力表：有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 

量程：-0.1Mpa—0.15MPa

氣路接口：氣路的接口都采用6.35的不銹鋼卡套接頭

混氣罐材料：304不銹鋼 Φ80×120mm

外形尺寸：長600×寬745×高700mm

質(zhì)保期：一年質(zhì)保期,，終生維護(hù)