科晶OTF-1200X-4-NW產(chǎn)品介紹

OTF-1200X-4-NW是一種緊湊型CVD爐，專為生長(zhǎng)各種納米線而設(shè)計(jì)，基片最大3英寸.  在法蘭的左側(cè)裝有一個(gè)小加熱器，可對(duì)輸入的氣體、液體、固體進(jìn)行預(yù)加熱，然后 進(jìn)入 CVD 爐進(jìn)行納米線的生長(zhǎng), 可滑動(dòng)的樣品架使操作更為簡(jiǎn)單。

科晶OTF-1200X-4-NW技術(shù)參數(shù)

爐子和預(yù)加熱器

緊湊型CVD爐是由OTF-1200X-4 單溫區(qū)爐演變而來(lái) :

內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

石英管：4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" L 最高工作溫度：1100oC

右邊帶樣品支架的法蘭是滑動(dòng)的，方便操作在加熱器和CVD爐之間的法蘭是預(yù)加熱氣體的通道，同時(shí)也起密封作用。

在爐子左側(cè)的小加熱器是對(duì)輸入CVD 爐的氣體、液體、固體或混合物進(jìn)行預(yù)加熱

:1.2''O.D x 6''L SS 作為加熱腔小加熱器最高工作溫度：600oC 

左邊法蘭具有密封和氣體通道的作用。

加熱區(qū)

CVD 爐: 400mm

小加熱器: 150mm

工作溫度CVD 爐：

最高工作溫度：1100°C ( < 2 hour )

連續(xù)工作溫度：200~1000°C

最快升溫和降溫速度: 10°C/min

小加熱器：

連續(xù)工作溫度：0~500°C

最快升溫和降溫速度：10°C/min

溫度控制

CVD 爐和加熱器：

PID/自整定的數(shù)字控制，具有 30段可控程序

熱偶：K type

控溫精度：+/- 1°C

可用計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制，相關(guān)硬件和軟件如下（選配）

真空和密封法蘭

CVD 爐： 右法蘭:  水冷避免O型圈融化(水冷機(jī)可選配）

KF25 真空 快接 (可與真空泵、波紋管、真空閥等連接）

可滑動(dòng)使客戶操作更簡(jiǎn)單：樣品可快速 送入和取出

一個(gè)石英樣品支架 ( 3"dia. )：與石英擋板滑動(dòng)法蘭連成一體

左法蘭 (在CVD 爐和小加熱器之間)：裝有4個(gè) 1/4'' 卡套連結(jié)的通氣管：

法蘭上有兩個(gè)獨(dú)立 1/4''口，可單獨(dú)將任何氣體通入 CVD 爐

一路 1/4'' 口將預(yù)熱氣體通入CVD 爐

一路1/4''口將不加熱的氣體通入CVD 爐(在 CVD 爐內(nèi), 通過“T”型結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合。)

額定電壓：?jiǎn)蜗? 220V AC, 50/60 Hz, 

額定功率：最大 3KW (要求20 A 空開)

外形尺寸：1200(L)X450(W)X510(H)mm

重量：100kg

質(zhì)保期：電器部分保修一年. ( 耗材：爐管、O型圈、加熱元件等不在保修范圍內(nèi))