昆山禾創(chuàng)淺析超聲波清洗機(jī)以及清洗方法
2022-11-14 11:44:58
[導(dǎo)讀]超聲波清洗機(jī)可大大節(jié)約清洗劑的使用量,使硅片清洗時(shí)更省水,省電,對(duì)環(huán)保作用也很大,最直接是大大降低了清洗成本。昆山禾創(chuàng)超聲儀器有限公司指出
1.一種超聲波清洗裝置,其特征在于:該裝置包括: 清洗槽,其用于存儲(chǔ)清洗液; 超聲波發(fā)生器,其包括至少一個(gè)超聲波振蕩板,所述的超聲波振蕩板設(shè)置在所述的清洗槽內(nèi),所述的超聲波振蕩板能夠向存儲(chǔ)在所述清洗槽內(nèi)的清洗液施加超聲波振動(dòng); 氣泡發(fā)生器,其能夠在存儲(chǔ)有清洗液的清洗槽中產(chǎn)生氣泡,所述的氣泡發(fā)生器具有至少一個(gè)氣泡逸出口,所述的氣泡逸出口能夠向所述超聲波振蕩板的超聲波振動(dòng)路徑上輸送氣泡。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波清洗裝置,其特征在于:所述氣泡逸出口所產(chǎn)生的氣泡的直徑為所述超聲波振蕩板在所述清洗液中振蕩所產(chǎn)生的空化氣泡的直徑的5倍以上。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波清洗裝置,其特征在于:所述的氣泡發(fā)生器包括至少一根與一高壓氣源相連通的鼓泡管,所述的鼓泡管上開設(shè)有至少一個(gè)小孔,所述的小孔構(gòu)成所述的氣泡逸出口。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超聲波清洗裝置,其特征在于:所述的氣泡發(fā)生器包括多根鼓泡管,多根所述的鼓泡管平行分布在相應(yīng)的所述超聲波振蕩板的上方。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波清洗裝置,其特征在于:所述的超聲波振蕩板設(shè)置在所述清洗槽的內(nèi)底部,所述的氣泡逸出口位于所述超聲波振蕩板的正上方。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超聲波清洗裝置,其特征在于:所述超聲波振蕩板的上方還設(shè)置有用于承托被清洗件的支撐托架,所述的氣泡逸出口位于所述的超聲波振蕩板與所述的支撐托架之間。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波清洗裝置,其特征在于:所述的清洗槽為上部敞口式清洗槽。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波清洗裝置,其特征在于:所述的超聲波振蕩板的振蕩頻率為28KHz以上。9.一種超聲波清洗方法,其特征在于:該方法包括如下步驟: 準(zhǔn)備一個(gè)內(nèi)設(shè)超聲波振蕩板的清洗槽,向清洗槽內(nèi)注入清洗液,將被清洗件以及超聲波振蕩板浸沒在所述的清洗液中; 在所述的超聲波振蕩板與被清洗件之間持續(xù)輸入氣泡; 利用所述超聲波振蕩板向所述的清洗液、氣泡施加超聲波振動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)對(duì)被清洗件表面的清洗。