產(chǎn)品型號(hào)：NBD-HR1200-110IT-170
商品簡(jiǎn)述：NBD HR系列高溫快速熱處理退火爐簡(jiǎn)稱RTP。 
該產(chǎn)品采用成熟的制造工藝，RTP快速退火爐造型新穎結(jié)構(gòu)合理； 
目前已被各種試樣實(shí)驗(yàn)多次驗(yàn)證，RTP快速退火爐并已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域； 

商品主要用于： 
1.可滿足離子注入后的快速退火； 
2.也可用于歐姆接觸快速合金； 
3.還可用于硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)； 
4.以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。 
     快速熱處理退火爐簡(jiǎn)稱 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），在原有生產(chǎn)制造工藝的基礎(chǔ)上不斷改進(jìn)，現(xiàn)已自主研發(fā)了該款產(chǎn)品，不但擁有非?？斓纳郎厮俾?00℃/S，而且在燒結(jié)工藝運(yùn)行完結(jié)，直接將試樣在高溫區(qū)取出。退火爐實(shí)現(xiàn)物理狀態(tài)下的快速降溫。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝，退火爐在綠色節(jié)能環(huán)保的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了試樣的快速升降溫！
     設(shè)備采用了內(nèi)管進(jìn)氣、外管出氣的氣路結(jié)構(gòu)，使得反應(yīng)氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。退火爐是CVD法生長(zhǎng)大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備。測(cè)溫元件直接和試樣接觸，保證試樣溫度的準(zhǔn)確性。

RTP快速退火爐主要技術(shù)參數(shù)

最高溫度：1200℃

額定溫度：1100℃

穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍：100～1000℃

溫度測(cè)量精度：±0.2℃

溫度控制重復(fù)性：±1℃

溫度控制精確度：±1℃

溫場(chǎng)均勻性：±2℃

溫度狀態(tài)工藝時(shí)間（S）：2～100（100～1000℃）

最快升溫速率：500℃/S

降溫速率（℃/S）：1～200（通氮?dú)?，速率更快?/p>

溫度控制模式：智能模糊全閉環(huán)控制

操控系統(tǒng)：NBD-101智能系統(tǒng)

用戶界面：中英文互換

工藝菜單編輯：觸屏式圖像操作界面

擴(kuò)充端口：可擴(kuò)充真空測(cè)控和FFC供氣

看門狗：系統(tǒng)進(jìn)入死循環(huán)時(shí)關(guān)閉主控制器

熱電偶校準(zhǔn)狀態(tài)檢測(cè)：軟件校準(zhǔn)，方便準(zhǔn)確，軟件分析傳感器狀態(tài)是否正常

超高溫狀態(tài)檢測(cè)：軟件檢測(cè)出溫度信息出現(xiàn)高溫異常時(shí)，切斷主回路

觸摸屏尺寸：7"LCD

最大功率：15kw

額定電壓：AC380～400V，50Hz（60Hz定制）

傳感器類型：S型單鉑銠

反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸：Φ100X200mm

式樣有效空間：3.5"

真空度：4.3×10-3Pa(外配分子泵）

抽氣端口尺寸：KF16（或Φ8mm寶塔嘴）

供氣口尺寸：Φ6.35mm雙卡套

冷卻方式：自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N2或壓縮空氣：2psi (0.14kg/cm2) – 7psi(0.5kg/cm2)

外形凈尺寸（mm）：長(zhǎng)920×深500×高560

恒溫區(qū) （mm)：120處理晶片尺寸（in)：0~3.5管徑（內(nèi)）（mm)：103最快升溫速率(℃/S：500反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸：Φ100X200mm

功率（AC380V）：15kw