科晶OTF-1200X-4-RTP產(chǎn)品介紹：

OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4" 石英管和真空法蘭， 它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片（最大達3“）的退火而設(shè)計，采用10KW紅外燈管加熱最快升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 +/-1°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。

爐體結(jié)構(gòu)：

帶風(fēng)冷的雙層鑄鋼外殼使得爐體表面溫度低于60℃

爐膛采用高純的氧化鋁纖維，最大程度上減少了熱量的損失

不慎在加熱過程打開爐蓋，配備的連鎖保護開關(guān)會自動切斷電源

內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

石英管和樣品架：

石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length

3" 的樣品架固定在滑動法蘭上，石英材料

 一片3"  AlN 片放在樣品架上用來放置需要退火的樣品。

AlN 具有很高的熱導(dǎo)率，所以在樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性+\- 5°C

選配水冷：

如果要求通冷卻水.

請確定冷卻水流速 ≥ 3L/min, 水溫 < 20oC; 水壓 > 25 PSI

我們建議采用 循環(huán)水制冷器作為冷卻系統(tǒng)（為了節(jié)約用水）.

警告:  這款 RTP 爐在1000oC ~ 1100oC下保溫時間不超過 600 秒，否則“ O”圈將被燒融

真空法蘭：

帶KF-D25 高真空法蘭由不銹鋼制作，兩個高溫“O”型圈密封

滑動法蘭使裝載樣品很容易. 3" 樣品架和內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。

可選真空度：

用機械泵真空度達 50 mtorr .

用分子泵真空度可達 10-4 torr

真空表標(biāo)配：

標(biāo)配：數(shù)字真空表，測量范圍為10-4 -1000 Torr；在測量腔體真空度為10-4- 10-3Torr前必須進行零點校準(zhǔn)，否則，顯示真空度會有較大的偏差；LED數(shù)字式顯示，顯示單位分為torr 和mtorr；接口規(guī)格為1/8"NPT；CE認(rèn)證；輸入電壓: 110V~220V。

注意：此表是在氮氣下校準(zhǔn)的，只有在氮氣和空氣下表上顯示的是實際壓力，當(dāng)通入任何其他氣體時，必須參考說明書中的相對氣體對照表，否則后果會很嚴(yán)重。

免責(zé)聲明：

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科晶OTF-1200X-4-RTP技術(shù)參數(shù)：

溫度：最高1100oC （長期1000°C）   

加熱元件：8 根紅外燈管 (直徑10 總長300 加熱長度 200, mm）

加熱區(qū)：加熱區(qū)長度12" ；恒溫區(qū)長度4"（ +/-5°C ）

熱偶：進口K 型熱偶, 緊貼在放樣品的AlN片下

電源：208-240 AC, 50/60 Hz 單相, 額定功率12KW (> 60A 保險)

最快升溫速率：室溫~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃： 10oC/sec

最快降溫速率：60oC/min (在 200 mtorr下), 117oC/min (在一個大氣壓下)  選擇:  為得到較快的降溫速度 < 10°C/秒, 你可以選擇帶滑軌的 RTP 爐

流量計：范圍： 16 - 160 ml/min

ID 自動控制，30段程序帶過熱和斷偶保護功能

熱偶: 進口K type

自整定功能

控溫精度: +/- 1°C

RS485 串口和溫控軟件（模塊和數(shù)據(jù)線需要另購）

溫度控制：PID 自動控制， 可控硅 SCR    

注意：此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā)）爐

尺寸：760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H)

質(zhì)量：45 kg (100 lbs)   

保修期：電器部分一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O”型圈和加熱燈管等不在保修范圍內(nèi)）

認(rèn)證：CE認(rèn)證所有電器元件（＞24V）都通過了UL/MET/CSA認(rèn)證若客戶出認(rèn)證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

科晶OTF-1200X-4-RTP使用注意事項：

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)進

入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

石英管的長時間使用溫度＜1100℃

對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）