等離子發(fā)射源

輸出功率：5 -500W    ± 1% .     

射頻頻率：13.56 MHz    ±0.005% . 

反射功率： 最大 200W  

匹配： 自動(dòng) 

射頻接口：50 Ω, N-type

噪音：<50 dB.   

冷卻：風(fēng)冷.

電源：AC 208-240V, 50/60Hz

無(wú)油真空泵機(jī)組

Pfeiffer（德國(guó)）高速( 226L/min) 無(wú)油干泵, 極限真空10E-3 Torr L

KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連

管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr 

數(shù)字真空計(jì) ( 美國(guó)) 安裝在左法蘭上. 

可選法蘭：本公司生產(chǎn)的帶鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

質(zhì)量流量計(jì)

四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度0.02% ) ：數(shù)字顯示，自動(dòng)控制.

MFC 1范圍:  0~100 sccm 

MFC 2和3:    0~200 sccm  

MFC 4范圍:   0~500 sccm 

一個(gè)混氣罐，底部裝有泄廢液口. 

一個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體.

進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS.

出氣口: 4個(gè) 1/4NPS.

控溫軟件

計(jì)算機(jī)可以通過(guò)控溫軟件控制爐子：RS485 接口和軟件是免費(fèi)的，但需要購(gòu)買數(shù)據(jù)線和一個(gè)控制模塊

為了獲得較大的升溫速度, 必須預(yù)熱到設(shè)定溫度，然后將爐子滑到樣品位置。

為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區(qū)滑到冷區(qū).

升溫速率：

15°C/sec (RT - 150°C);10°C/sec (150°C - 250°C);7°C/sec (250°C - 350°C);4°C/sec (350°C - 500°C);3°C/sec (350°C - 550°C);2°C/sec (550°C - 650°C);1°C/sec (650°C - 800°C);0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷卻速率：

15°C/sec (1000 - 950°C);10°C/sec (950°C - 900°C);7°C/sec (900°C - 850°C);4°C/sec (850°C - 750°C);2°C/sec (750°C --600°C);1.5°C/sec (600°C - 500°C);1°C/sec (500°C - 400°C);0.5°C/sec (400°C - 300°C);

水循環(huán)冷卻器

水冷法蘭要求：水流量 >= 10L/M . 可以用自來(lái)水進(jìn)行水冷,

為了節(jié)約水資源，我們建議使用水循環(huán)冷卻器。

爐體: 550 x 380 x 520  mm  

滑軌:   1750 mm 長(zhǎng) 

移動(dòng)架: 1200 x 1200 x 600mm.  

凈重: 220 Lbs. 

運(yùn)輸重量: 500lbs.