輸入電壓：110/220,50/60Hz,小于100W（請在訂貨時說明）；

輸出頻率：13.56MHz;

等離子直流電源：

低功率設(shè)定：直流680V，10mA,6.8W;

中功率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W;

高功率設(shè)定：直流720V，25mA,18W;

等離子腔室：直徑75mmx長165mm,

耐熱玻璃    前蓋可以拆卸。

真空泵和閥的要求： 

a,大于每分鐘160L

b,極限壓力：200mtorr或者0.27mbar

c,可以選擇數(shù)字真空表

d,針閥控制氣體流量

e,采用三通閥門快速控制進(jìn)氣、密封等離子腔室、排氣

氣體：多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮氣、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。

警示：不能使用可燃性氣體。

外形尺寸：200mmx250mmx210mm 8、

凈重：（不含泵）8kg

可選真空計

可選本公司生產(chǎn)研發(fā)的電阻真空計此款真空計

是以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下體現(xiàn)的熱傳導(dǎo)特性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器，特別適應(yīng)于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空度測量。