標準對潔凈工作臺的外觀尺寸偏差功能性能進行了規(guī)定給出了潔凈工作臺的風(fēng)速潔凈度噪聲照度振動幅值等主要性能指標要求。

掃描檢漏

   高效空氣過濾器作為塵埃顆粒物進入潔凈工作臺操作區(qū)的最后一道防線其自身性能及安裝質(zhì)量的優(yōu)劣直接關(guān)系到潔凈工作臺能否符合要求高效空氣過濾器檢漏測試是保證潔凈工作臺質(zhì)量的必要措施之一對高效空氣過濾器進行掃描檢漏過去國外標準都規(guī)定用光度計方法人工發(fā)塵ＤＯＰ來檢漏

而當(dāng)下游體積分數(shù)超過上游體積分數(shù)１０－４ 時即為漏對于超高效過濾器這一數(shù)值顯然是不適用的 標準ＪＧＪ７１ ９０潔凈室施工及驗收規(guī)范根

據(jù)理論研究成果首次在國內(nèi)外明確規(guī)定用粒子計數(shù)器法檢漏可以用大氣塵必要時用ＤＯＰ規(guī)定在被檢高效過濾器上風(fēng)側(cè)測定大氣塵的微粒數(shù)以大于或等于０．５ｍ微粒為準其濃度必須大于或等于３．５×１０４粒Ｌ若檢測超高效過濾器則以大于或等于０．１ｍ微粒為準其濃度必須大于或等于３．５×１０６ ３．５×１０７粒Ｌ ６當(dāng)按這一規(guī)定檢漏時應(yīng)在距過濾器表面２３ｃｍ處掃描 其評定標準為由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成的透過率對于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格透過率的２倍對于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的３倍這一 檢 漏 標 準 被 許 多 標 準規(guī) 范 所 采 用如ＧＢ５０２４３ ２００２通 風(fēng) 與 空 調(diào) 工 程 施 工 質(zhì) 量 驗 收 規(guī)范７ 但是這一檢漏標準在實施中并未得到執(zhí)行一 是 因 為 太 嚴 了即 使 按 規(guī) 定 上 游 濃 度 達 到３．５×１０４ 粒Ｌ由 于Ａ類過濾器即可具有９９．９９９％的效率 ０．５ｍ 按不大于３倍的透過率計算下游濃度最多有１粒Ｌ也不好檢定二是因為每一臺過濾器的透過率很難事先知道所以長期以來在大量潔凈室高效空氣過濾器掃描檢漏實測中使用的是一種簡便方法對室內(nèi)不高于ＧＢ５００７３ ２００１潔凈廠房設(shè)計規(guī)范８規(guī)定的潔凈度級別５級的潔凈環(huán)境 不計過濾器前濃度認為都符合要求 只要中流量粒子計數(shù)器２．８３Ｌｍｉｎ每ｍｉｎ讀數(shù)不大于３個即認為不漏后來有關(guān)規(guī)范中更放寬到以３粒Ｌ為界限事實證明當(dāng)ＧＢ５００７３ ２００１規(guī)定的潔凈度級別５級等同于ＩＳＯ５級９ 工作區(qū)高度或其以上某高度的一個區(qū)域濃度偏大時用上述方法檢漏一般能找到相應(yīng)的漏泄點 粒子計數(shù)器法明顯比光度計法簡便精確大氣塵法明顯比ＤＯＰ法污染小 該標準借鑒ＧＢ５０５９１ ２０１０潔凈室施工及驗收規(guī)范的研究成果１０ 指出了對高效空氣過

濾器進行掃描檢漏的大氣塵檢漏方法及相關(guān)參數(shù)要求。