中國儀器網(wǎng)對電子氣體凈化器現(xiàn)狀與趨勢
2016-02-24 15:26:54
[導(dǎo)讀]電子氣體凈化器是對電子氣體進(jìn)行在線凈化與電子氣體一樣同屬我國亟待發(fā)展的戰(zhàn)略資源與關(guān)鍵技術(shù)從技術(shù)和市場角度對電子氣體凈化器國內(nèi)外現(xiàn)狀和發(fā)展做總體性概括介紹和展望
電子氣體凈化器是對電子氣體進(jìn)行在線凈化與電子氣體一樣同屬我國亟待發(fā)展的戰(zhàn)略資源與關(guān)鍵技術(shù)從技術(shù)和市場角度對
電子氣體凈化器國內(nèi)外現(xiàn)狀和發(fā)展做總體性概括介紹和展望 電子氣體是集成電路平板顯示光纖光伏電池等高科技產(chǎn)業(yè)的基石和源性支撐材料 廣泛用于薄膜沉積刻蝕摻雜鈍化清洗或用作載氣
保護(hù)氣氛等電子氣體對純凈度的要求極高 即使是痕量雜質(zhì)也可導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷 嚴(yán)重影響產(chǎn)品性能和成品率此外許多痕量雜質(zhì)會污染制成設(shè)備不僅導(dǎo)致關(guān)鍵工藝參數(shù)的偏移最終還有可能因此而不得不更換或者維修這些儀器而更換或維修動輒需要幾百萬。電子氣體凈化器結(jié)構(gòu)電子氣體凈化器實(shí)質(zhì)上是以單層或多層催化吸附或吸氣材料為核心的固定凈化床
