近年來,原子力顯微鏡精密測量技術(shù)取得了長足的進(jìn)展。超高分辨原子力顯微鏡精密測量技術(shù)是人類認(rèn)識徵觀、納觀、甚至原子的“眼睛”,廣泛應(yīng)用在三維形貌與電荷等物理量測量方面。隨著大氣下原子力顯微鏡的不斷發(fā)展,其對測量分辨率及靈敏度的要求不斷提高,而精密儀器的測量精度不僅與儀器本身的精度有關(guān),還受到周環(huán)境等諸多因素的影響,如儀器的振動噪聲。在大氣下非接觸AFM"中,當(dāng)測量樣品時,探針尖端與樣品間距保持在0.05~0.2mm,因此,應(yīng)當(dāng)在探針測量樣品表面時控制探針尖端與樣品表面的距離。上海締倫光學(xué)儀器有限公司介紹此外,由于被測樣品表面的回凸在0.1nm之間,所以為了能夠?qū)Σ煌瑯悠繁砻孢M(jìn)行高分辨測量,需要將從外部傳到AFM測量主體的振動影響降低到0.05nm以下。振動一般來源于地板振動和空氣振動。地板振動包括建筑物本身的搖晃、走廊的振動、測試儀器等的機械性的振動?？諝庹駝佑新曇艉惋L(fēng)等。這些振動中同時存在著低頻和高頻噪聲,所以在設(shè)計除振裝置時要同時考慮。