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產(chǎn)品介紹:
GSL-1100X-SPC-16是一款能夠?qū)崿F(xiàn)兩種功能的鍍膜設(shè)備,即等離子濺射鍍膜和蒸碳鍍膜。特別適合于制作SEM和EDAX樣片,是一款可以以低廉的價(jià)格買到的適用的設(shè)備。
輸入電壓 |
220V 50/60 Hz |
輸入功率 | < 2000W (包括真空泵) |
輸出 | 等離子濺射鍍膜:1600VDC,最大電流為50mA蒸碳鍍膜:10VAC,最大電流10A |
反應(yīng)腔體 |
石英管;60 mm Dia. x 110mmH |
樣品臺(tái) |
一個(gè)直徑為50mm的圓形樣品 臺(tái)最大鍍膜區(qū)域直徑為:45mm |
真空配置 |
儀器中包含有一直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵,可使反應(yīng)腔體真空度達(dá)到10-2 tor r用一個(gè)KF25的波紋管把真空泵和儀器相連接 為了得到更好的真空度可以選購(gòu)分子泵,可使腔體內(nèi)的真空度達(dá)到10-5 torr
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進(jìn)氣口 |
有一不銹鋼針閥安裝在儀器上,可以通入各種氣體,可以產(chǎn)生不同元素的等離子體,以滿足不同的實(shí)驗(yàn)需要 |
靶材 & 碳源 |
儀器中包含一50 mm dia. x 0.12 mm的金靶10片碳纖維作為碳蒸發(fā)源 |
儀器外型尺寸 |
L360mm x W300mm x H380mm |
凈重 | 50 kg |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終身維護(hù) |