空氣中顆粒物污染不僅危害人類健康，還是醫(yī)藥、電子、航空等行業(yè)生產(chǎn)及加工工藝中主要的污染來(lái)源，如在電子行業(yè)及芯片制造工業(yè)中，氣體中微小顆粒物的沉積會(huì)造成電氣不良特性甚至更嚴(yán)重的破壞，因此準(zhǔn)確評(píng)價(jià)空氣潔凈度已經(jīng)成為這些行業(yè)生產(chǎn)和產(chǎn)品檢測(cè)的迫切要求。在我國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》（GB50073—2013）中就以 0.1~5.0 μm 范圍內(nèi)各粒徑檔的顆粒數(shù)量濃度作為潔凈間等級(jí)的劃分標(biāo)準(zhǔn)。目前主要用于空氣潔凈度測(cè)量的商業(yè)儀器為塵埃粒子計(jì)數(shù)器，又稱激光粒子計(jì)數(shù)器（optical particle counter，OPC）。塵埃粒子計(jì)數(shù)器以光散射為測(cè)量基礎(chǔ)，即當(dāng)被測(cè)氣溶膠經(jīng)儀器進(jìn)樣系統(tǒng)并以恒定流速通過(guò)光敏感區(qū)時(shí)，會(huì)發(fā)生顆粒的光散射現(xiàn)象并產(chǎn)生散射信號(hào)，且該光散射信號(hào)強(qiáng)弱及數(shù)量與氣溶膠中顆粒粒徑和數(shù)量密切相關(guān)。通過(guò)對(duì)該信號(hào)的光電轉(zhuǎn)化、放大及檢測(cè)，再利用軟件及顯示單元可得到單位體積中的粒子數(shù)量，即粒子數(shù)量濃度。塵埃粒子計(jì)數(shù)器可測(cè)量粒徑范圍為 0.1~10 μm 的顆粒數(shù)量濃度，有效滿足對(duì)潔凈度的監(jiān)測(cè)。