如今,多鐵性氧化物薄膜在光電器件、信息存儲(chǔ)、邏輯運(yùn)算中都有非常高的潛在價(jià)值,并且對(duì)于未來(lái)高密度、低能耗的電子器件都很重要的作用。而上??茖?dǎo)超聲儀器有限公司清洗在薄膜制作的每一個(gè)過(guò)程都非常重要,過(guò)多的雜質(zhì)的襯底會(huì)對(duì)同時(shí)具有面內(nèi)面外極化分量的四方相或菱形相氧化物薄膜的鐵彈性應(yīng)變有束縛作用,使得氧化物薄膜中的應(yīng)變無(wú)法實(shí)現(xiàn)有磁性的有效調(diào)控,這阻礙了未來(lái)以應(yīng)變?yōu)槊浇榈难趸锱c金屬異質(zhì)結(jié)以薄膜結(jié)構(gòu)的方式在半導(dǎo)體襯底上的集成。其次,上海科導(dǎo)超聲儀器有限公司如今常用的清洗液主要由以下幾種鹽酸與雙氧水混合、硫酸與雙氧水混合、氨水與雙氧水混合以及氫氟酸。而對(duì)于光刻膠等有機(jī)物的清除過(guò)程中效果最好的是氨水與雙氧水的混合,且上海科導(dǎo)超聲儀器有限公司實(shí)驗(yàn)的材料為多鐵性氧化物所以不適宜用酸溶液來(lái)清理。所以實(shí)驗(yàn)使用了氨水與雙氧水 3:1 的比例進(jìn)行探究的。