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超凈工作臺過濾器進行DOP檢漏方法概述

2022-08-03 09:59:58
[導(dǎo)讀]原理:在被檢測過濾器上風(fēng)側(cè)發(fā)DOP氣溶膠作為塵源(DOP即鄰苯二甲酸二辛酯,分子量390.57,噴霧后粒子呈球形狀),在下風(fēng)側(cè)用光度計進行采樣,采集到的空氣樣品通過光度計的擴散室,含塵氣體經(jīng)過光度計產(chǎn)生的散射光由光電效應(yīng)和線性放大轉(zhuǎn)換為電量,并由微安表快速顯示,便可測得氣溶膠的相對濃度。

檢漏方法:常用的是DOP法檢漏(即采用DOP溶劑作為塵源,與氣溶膠光度計配合檢漏),也可用塵埃粒子計數(shù)器掃描法來檢漏(即采用大氣塵作為塵源,與粒子計數(shù)器配合檢漏)。由于粒子計數(shù)器讀數(shù)為累積讀數(shù),不利于掃描,巡檢速度慢;另外,在被測過濾器上風(fēng)側(cè),往往大氣塵濃度較低,需補充發(fā)煙才易發(fā)現(xiàn)泄漏,粒子計數(shù)器法檢漏的的這些不足DOP法恰恰可以彌補,因此廣泛采用DOP法檢漏。

材料與儀器:
① 塵源(DOP溶劑);
② DOP發(fā)生器[為產(chǎn)生煙霧的裝置,DOP溶劑倒入發(fā)生器容器后,在一定壓力或加熱條件下產(chǎn)生氣溶膠煙霧被送入過濾器上風(fēng)側(cè)(對DOP液體加熱,形成 DOP蒸汽,蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴,去掉過大和過小的液滴,僅留下0.3μm左右的顆粒,霧狀DOP進入風(fēng)道);
③ 氣溶膠光度計(測定和顯示氣溶膠濃度的儀器,應(yīng)注明校驗有效期,需是校驗合格且在有效期內(nèi)的方可使用);
④ 氮氣;
⑤ 環(huán)氧樹脂硅膠;
⑥ 備用的所需型號的過濾器

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